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台积电5nm制程首次曝光

2015-07-23
關鍵詞: 台积电 10nm 7nm 5nm

       作為全球最大的代工廠,臺積電這幾年并不是很順利,但每每展望未來總是一片光明:2016年第四季度量產10nm,2018投產7nm……那么再往后呢?就是5nm了。嗯,沒錯,越往后進步幅度就會越小,5nm之后還能不能繼續前進都是個大問題了。

       為了解決工藝提升中的各種復雜挑戰,半導體行業早就想出了各種各樣的高招,但因為成本太過于高昂,技術太過于復雜,一直都很難投入實用,比如說極紫外光刻(EUV)。

       根據規劃, 臺積電的10nm、7nm都會用上EUV極紫外技術,更遙遠的5nm也會如此,而且還會加入新的多重電子束技術(multipe e-beam)。

       不過,5nm還屬于長期規劃,需要解決的問題太多太多,何時投產尚無明確時間表,臺積電只是說會在2014-2019年間不斷研究5nm。

       業內人士預計,10nm之后的工藝至少5年以后才能實現,照這么預計及時7nm也得等到2020年,而按照臺積電這幾年的拖沓表現,還真不好說。

       Intel也在一直研究極紫外光刻和450毫米大晶圓,但多次推遲了投產進度。450毫米晶圓已經在試產,應該會在10nm上使用。極紫外說不定得等7nm。

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