《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》15日訊，據(jù)韓國(guó)業(yè)界消息，韓國(guó)半導(dǎo)體巨頭三星電子、SK海力士正利用氖氣回收技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展，并降低成本、減輕供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn)。SK海力士近日宣布與韓國(guó)氣體供應(yīng)商TEMC合作，在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊隨其后，計(jì)劃在2025年將氖氣回收技術(shù)整合到其制造工藝當(dāng)中。氖氣用于半導(dǎo)體光刻中激發(fā)激光，通過(guò)利用裝置收集廢氣，SK海力士與TEMC實(shí)現(xiàn)了72.7%的氖氣回收率，并計(jì)劃將效率進(jìn)一步提升至77%。
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無(wú)法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問(wèn)題，請(qǐng)及時(shí)通過(guò)電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當(dāng)措施，避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。