4 月 2 日消息，SK 海力士于昨日宣布，已與韓半導體行業特種氣體制造商 TEMC 成功合作開發了業界首個氖氣回收技術，每年可節省 400 億韓元（當前約 2.14 億元人民幣）。
由于地緣政治環境變化，氖氣等稀有氣體供應緊張，價格飆升。韓國另一家半導體企業三星電子也計劃在芯片生產中對氖氣進行回收利用。
氖氣是準分子激光氣體的關鍵成分，對于半導體光刻工藝必不可少。而作為一種稀有氣體，氖氣化學性質穩定，難以同其他物質發生反應，因此可通過分離純化實現回收再利用。
利用這一特點，SK 海力士同 TEMC 一道開發了系列氖氣回收裝置，將光刻工藝完成后環境中的氖氣進行收集和選擇性分離，分離后的氣體由 TEMC 方面進行純化，重新向 SK 海力士供應。
目前這套氖氣回收裝置的整體回收率為 72.7%，SK 海力士計劃未來將這一比例提升至 77%。
根據 SK 海力士方面的統計，該回收技術有望每年降低 400 億韓元的氖氣采購成本，并降低約 12000 噸二氧化碳當量的碳排放。
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