近日，光刻機制造企業ASML公布了2021年第二季度財報。財報顯示，ASML凈銷售額為40億歐元，毛利率為50.9%，凈收入10億歐元。
根據ASML的的財報透露，當前第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機系統已經交付，不過并沒有透露客戶的具體名字。此次全新的光刻機相比NXE:3400C生產力提高了15-20%，覆蓋率提高了約30%。
值得注意的是，ASML第二季度的預訂額為83億歐元，其中EUV極紫外光刻機就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達175億歐元，這足以證明當下光刻機的生產仍有預訂壓力。ASML表示，正努力增加EUV光刻機在存儲行業的量產應用，計劃協助三個DRAM內存芯片客戶在未來的工藝節點中導入EUV。預計ASML在第三季度的凈銷售額52-54億歐元，毛利率51-53%。
據悉，目前ASML的EUV光刻機仍屬于第一代產品，最早一代產品是NXE:3400B，其晶圓產能只有125PWH。而當前的助力產品為NXE:3400C，晶圓產能產能提升到135WPH，最新的NXE:3600D光刻機其產能進一步增加，提升至160WPH，其價格有可能達到1.45億美元。此外，ASML也將在未來幾年推出第二代EUV光刻機，或將是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進一步提高光刻精度，價格可能來到3億美元，原計劃將于2023年推出，目前推遲至2025-2026年。
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