12月24日消息,東南網報道,廈門火炬高新區企業瀚天天成近日成功研發出全球首款12英寸高質量碳化硅外延晶片。
這一突破不僅將顯著提升下游功率器件的生產效率,更可大幅降低碳化硅芯片的單位制造成本,為產業規模化、低成本應用奠定關鍵基礎。

第三代半導體碳化硅相比傳統硅材料,具備更優異的高頻、高壓、高溫性能,有助于實現系統更低能耗、更小體積與更輕重量的目標,目前已被廣泛應用于新能源汽車、光伏發電、AI電源、軌道交通、智能電網及航空航天等領域。
相較于目前主流的6英寸碳化硅外延晶片及仍處于產業化推進階段的8英寸晶片,12英寸晶片憑借其直徑的大幅增加,在相同生產流程下單片可承載的芯片數量顯著提升——分別為6英寸晶片的4.4倍和8英寸晶片的2.3倍。
目前,瀚天天成已啟動12英寸碳化硅外延晶片的批量供應準備工作。該產品關鍵性能指標表現突出:外延層厚度不均勻性控制在3%以內,摻雜濃度不均勻性≤8%,2mm x 2mm芯片良率超過96%,能夠充分滿足下游功率器件對高可靠性的應用需求。
據悉,瀚天天成是中國首家實現3英寸、4英寸和6英寸碳化硅外延晶片商業化批量供應的企業。
根據灼識咨詢研究報告,公司已于2023年成為全球規模最大的碳化硅外延晶片供應商,2024年全球市場份額超過31%。

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