8 月 5 日消息，綜合《日本經(jīng)濟(jì)新聞》《日刊工業(yè)新聞》兩家日媒報(bào)道，佳能在當(dāng)?shù)貢r(shí)間 7 月 30 日為一家位于栃木縣宇都宮市的半導(dǎo)體光刻設(shè)備工廠舉行開業(yè)儀式，這也是佳能時(shí)隔 21 年開設(shè)的首家新光刻機(jī)廠。
佳能宇都宮工廠總建筑面積為 67518 平方米，總投資額約 500 億日元（注：現(xiàn)匯率約合 24.37 億元人民幣），投產(chǎn)后佳能的光刻設(shè)備產(chǎn)能將相較 2021 年翻倍。該工廠將于今年 9 月啟動(dòng)最初生產(chǎn)，明后年補(bǔ)充鏡頭加工制造能力。
▲ 佳能 KrF 光刻機(jī)
佳能宇都宮工廠不制造 EUV、ArF(i) 等較為先進(jìn)的光刻設(shè)備，而是聚焦 i 線、KrF 等成熟光源平臺。AI 興起帶來的后端先進(jìn)封裝需求日益攀升，而這正是傳統(tǒng)光刻機(jī)的用武之地。此外，宇都宮工廠也將制造 NIL 納米壓印圖案化系統(tǒng)。
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