北京時間2022年7月15日——泛林集團 （NASDAQ： LRCX）、Entegris， Inc． （NASDAQ： ENTG） 和三菱化學集團旗下公司 Gelest， Inc， 于近日宣布了一項戰略合作，將為全球半導體制造商提供可靠的前體化學品，用于下一代半導體生產所需的、泛林突破性的極紫外 （EUV）干膜光刻膠創新技術。三方將合作對未來幾代邏輯和 DRAM 器件生產所使用的 EUV 干膜光刻膠技術進行研發，這將有助于從機器學習和人工智能到移動設備所有這些技術的實現。

強大的工藝化學品供應鏈對于 EUV 干膜光刻膠技術運用到量產至關重要。這一新的長期合作將進一步擴大干膜光刻膠技術不斷發展的生態系統，由半導體材料領先者提供雙源供應，保障全球所有市場的持續供應。

此外，泛林、Entegris 和 Gelest 還將攜手合作，加快開發未來用于高數值孔徑（高 NA）EUV 圖形化的高性價比 EUV 干膜光刻膠解決方案。高 NA EUV 被廣泛認為是未來幾十年半導體器件持續微縮和發展所需要的圖形化技術。干膜光刻膠能實現高抗刻蝕性及沉積和顯影所需的可調厚度比例，以支持高 NA EUV 降低焦深的要求。

泛林集團執行副總裁兼首席技術官 Rick Gottscho 表示：“干膜光刻膠技術結合 EUV 為將來 DRAM 和邏輯的發展掃清了最大障礙。此次合作將泛林在干膜光刻膠技術領域的專業知識、尖端解決方案與材料科學能力和來自兩個前體化學品行業領導者帶來的值得信賴的供應渠道結合在一起。這一干膜光刻膠生態系統的重要擴展為該技術的創新和量產鋪平了道路。”

干膜光刻膠最初由泛林與 ASML 和 IMEC合作開發，提升了 EUV 光刻的分辨率、生產率和良率，從而解決了與下一代 DRAM 和邏輯技術相關的關鍵挑戰。該技術提供出色的劑量－尺寸比和劑量－缺陷率性能，從而提高了 EUV 掃描儀的生產率并降低持有成本。此外，與傳統抗蝕劑工藝相比，泛林的干膜光刻膠工藝消耗的能源更少，原材料消耗量比之前要少五到十倍，從而提供了關鍵的可持續發展優勢。

Entegris首席執行官 Bertrand Loy 表示：“泛林的干膜光刻膠技術反映了材料層面的關鍵創新，并且提供多項優勢，包括分辨率更佳、成本效益更高以及具吸引力的可持續發展效益。我們很自豪能夠參與這項創新合作，以加速干膜光刻膠技術的采用，并在客戶運用這項重要技術創造下一代半導體之際，成為他們值得信賴的工藝材料供應商。”

三菱化學集團旗下 Gelest 總裁 Jonathan Goff 表示：“我們與泛林和 Entegris 合作開發 EUV 光刻所使用的干膜光刻膠，這表明我們致力于支持芯片制造商在材料科學領域的創新。近年來，我們已經看到 EUV 展現出了非凡的價值，我們很高興成為不斷發展的生態系統的一部分，以擴大其潛力。”

關于泛林集團

泛林集團 （NASDAQ： LRCX） 是全球半導體創新晶圓制造設備及服務的主要供應商。泛林集團的設備和服務助力客戶構建體積更小、性能更出色的器件。事實上，當今幾乎每一塊先進芯片的制造都使用了泛林集團的技術。我們出色的系統工程、技術領導力、以及基于強大的價值觀的企業文化，都與對客戶的堅定承諾緊密結合。泛林集團是一家 FORTUNE 500?（美國《財富》500 強）公司，總部位于美國加利福尼亞州弗里蒙特市，業務遍及世界各地。欲了解更多詳情，請訪問www．lamresearch．com。

關于Entegris

Entegris 是全球半導體市場電子材料領域的領導者。Entegris 擁有約 8，800 名員工，業務遍布全球，除了為生命科學和其他先進的制造環境提供解決方案外，還為半導體客戶提供業界最全面、創新的端到端產品組合。Entegris 的解決方案可幫助客戶提升生產力、產品性能以及良率，從而實現改變世界的科技。它在美國、加拿大、中國、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、韓國和中國臺灣設有制造基地、客戶服務和／或研究機構。欲了解更多 Entegris 的信息，請訪問www．entegris．com。

關于Gelest

Gelest 是專業硅酮、有機硅烷、金屬有機化合物和丙烯酸酯單體的創新者、制造商和全球供應商，總部位于美國，服務于醫療設備、生命科學、涂料和粘合劑、微電子和個人護理等先進技術終端市場。作為世界上最大和最成功的化學公司之一三菱化學集團旗下一員，Gelest 可以利用集團的專業知識、研發支持和資源，開發尖端的化學技術、產品和服務來應對社會最復雜的材料科學挑戰，從而助力客戶取得成功。