去年4月，中芯國際向荷蘭ASML公司訂購了一臺EUV光刻機，用于研究7nm及以下的先進工藝。花費超過1.2億歐元（約10億人民幣），預計今年底交貨，2020年正式安裝。來自日經(jīng)新聞消息稱，因為受到美國政府關(guān)切，ASML將延后對中國晶圓代工企業(yè)中芯國際出貨。

　　消息發(fā)酵后，中芯國際股價因此受挫，今日跌幅一度超過6%。

　　對此ASML與中芯國際均對此表示否定。

　　11月7日下午，ASML向《科創(chuàng)板日報》獨家回應稱，對于日經(jīng)新聞報道的關(guān)于交貨時程僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述，表示抗議。

　　ASML相關(guān)負責人強調(diào)：“實際上在我們第三季度財報中，就已經(jīng)將相關(guān)情況進行說明，根據(jù)瓦圣納協(xié)議（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。因此，關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的，ASML系遵循法規(guī)行事，并一視同仁地服務我們?nèi)蚩蛻簟！?/p>

　　對于何時能拿到許可證，ASML相關(guān)負責人表示，目前處于正常的流程狀態(tài)中，尚未掌握確切的時間。

　　中芯國際剛剛也進行回應：“極紫外光（EUV）還在紙面工作階段，未進行相關(guān)活動。公司先進工藝研發(fā)進展順利。目前，研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常，客戶與設備導入正常運作。”

　　ASML是全球EUV光刻機的唯一供應商，并且是全球市值最高的芯片設備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約 92 億美元) 左右。其中16%來自英特爾和美光等美國公司，19%來自中國。據(jù)了解，臺積電、三星已于2019年導入量產(chǎn)最先端產(chǎn)品的EUV設備，且蘋果預計2020年下半開賣的新型iPhone預估就會搭載采用該技術(shù)的CPU。

　　中芯國際是我國最大的半導體制造公司，今年14nm制程已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)，追平臺聯(lián)電14nm制程工藝，如果未能準時拿到最先進光刻機設備，或影響趕超臺積電的日程表。

　　目前臺積電臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺，不過量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV(深紫外）工藝，今年3月份才啟動7nm EUV的量產(chǎn)。而三星在去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV。

　　不過，業(yè)內(nèi)人士透露，這批設備仍預計將在 2019 年底前出貨，并且在 2020 年底前完成裝機。