5月19日消息，近日，央視財經《對話》節目聚焦中國半導體設備產業突圍之路，“中國刻蝕機之父”尹志堯與中芯國際創始人張汝京同臺講述國產設備從無到有的攻堅歷程。張汝京透露，中芯國際已經累計向中微半導體采購至少800臺刻蝕機。

60歲放棄美國百萬年薪毅然回國的尹志堯，曾在泛林、應用材料等國際半導體設備巨頭深耕20余年，手握數百項核心專利。2004年創立中微時，他要求所有員工不帶任何海外文件，用空白電腦從零起步。

歷經22年深耕，中微公司市值已突破2714億元，其刻蝕設備覆蓋從65nm成熟制程到3nm先進制程的全節點，更成功打入臺積電5nm、3nm供應鏈，徹底打破了海外三巨頭對刻蝕機市場的長期壟斷。

中微能在國際巨頭的夾縫中撕開缺口，核心在于堅持原始創新。尹志堯透露，公司首創的甚高頻去耦合反應離子刻蝕技術，推出三年后便被泛林、應用材料、東京電子全部效仿，如今全球100%的CCP刻蝕機均采用這一技術。

而中微原創的雙臺機設計，可同時完成兩片硅片的刻蝕作業，能節省30%以上的材料成本，且性能優于國際同類產品，售價更低。

中微的首個量產客戶正是中芯國際。張汝京坦言：“試新的設備一定會有風險，但是我們試的時候不會貿然試很多，就是小批量的，先試5片、25片，再就是50片、100片，而且時間蠻長的，雙方都要負責。

比如我們用中微的設備，設備給我們的時候，我們并沒有付錢，這是中微投資者的，但是后面測試時，芯片就是我們自己負責，時間成本是我們負責，大家配合很好以后成功了，這個投資絕對劃得來。

如果沒有人使用國貨，怎么會進步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要覺得我一試不好，不用了。”

2023年12月，中微進軍此前17種工藝設備全依賴進口的大平板設備領域，僅用18個月就完成設備研發并通過客戶生產線核準，遠超行業3-7年的常規研發周期。

尹志堯強調，中微始終拒絕單純的技術復制，真正的自主創新才是中國半導體設備產業的立身之本。