OFweek可穿戴設備網訊 韓國科學技術學院(KAIST)材料科學與工程系的KeonJaeLee和Sang-HeeKoPark教授領導的一個研究小組采用無機激光剝離法開發了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。

隨著物聯網(InternetofThings，IoT)時代的到來，對可穿戴透明顯示器的強勁需求一直在增長，其可以應用到各種領域，如增強現實(AR)和類似皮膚的柔性薄器件。然而，以前的柔性透明顯示器具有一些真正的挑戰需要克服，透明度差和低劣的電學性能就是其中的兩個挑戰。為了提高透明度和性能，過去的研究工作嘗試了使用以無機物為基礎的電子產品，但塑料襯底的基本的熱不穩定性限制了高溫工藝的進行，而高溫工藝是制造高性能電子設備所必需的一個重要步驟。

此圖像顯示了采用無機激光剝離工藝生產的超薄、柔性和透明的氧化物薄膜晶體管。

　　為了解決這個問題，韓國科學技術學院(KAIST)材料科學與工程系的KeonJaeLee和Sang-HeeKoPark教授領導的一個研究小組采用無機激光剝離法開發了用于柔性顯示器有源矩陣背板的超薄透明氧化物薄膜晶體管(TFT)。Lee教授的研究小組先前在能量收集器件(《AdvancedMaterials》，2014年2月12日)和柔性內存器件(《AdvancedMaterials》，2014年9月8日)上證明了無機激光剝離(ILLO)技術。

　　該研究小組在具有激光活性的犧牲性襯底上制作了一個高性能的氧化物TFT陣列。在從襯底背面用激光進行照射之后，由于激光和激光活性層之間的作用，只有氧化物TFT陣列從犧牲性襯底上分離出來，并隨后被轉移到超薄(4μm厚)塑料上。最后，這個轉移之后的用于柔性顯示器的超薄氧化物驅動電路被緊貼著連接到人體皮膚表面來展示用于可穿戴應用的可能性。這個粘附的氧化物TFT即使經過幾個周期的嚴重彎曲試驗之后，仍然顯示了83%的高光學透明度和40cm^2/(V*s)的電子遷移率。

　　Lee教授表示，“通過使用我們的無機激光剝離工藝，去掉了昂貴的聚酰亞胺襯底，高性能透明柔性顯示器的技術障礙被以較低的成本克服了。此外，這個高品質的氧化物半導體可以很容易地轉移到類似皮膚或任何用于可穿戴式應用的柔性基板上。”