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??? 蘇格蘭利文斯頓，2009年3月11日—全球微機電系統（MEMS）產業蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures，今天宣布將于3月17-19日在于上海舉行的SEMICON China 2009上推出其新型memsstar制造系統。與此同時，公司還將發布其中國市場營銷和服務戰略。?

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??? 中國新的工業化進程正在推動著許多無晶圓廠半導體公司和先進元件公司對MEMS技術與產品更多的關注。例如，2008年中國的制造廠商生產了大約932萬輛汽車和5.6億部移動電話，因此中國正在成為諸如速度傳感器和硅麥克風這樣的MEMS器件最重要的市場之一。現在，MEMS更多的應用領域正在不斷涌現，這類產品可以廣泛應用在諸如移動通信、計算機、消費電子、醫療器械和工業電子等等領域中。?

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??? 為了滿足這些市場需求，Point 35將其新型MEMS平臺和完善的服務帶到了中國。該公司的memsstar除了以可靠性著稱外，該系統還可以用于不同類型的MEMS產品，并可覆蓋從開發到批量生產的各個階段。Point 35正在中國建立它的服務體系以支持本土潛在的memsstar?合作伙伴，還將與其中國本土分銷商WESI Technology公司一起參加SEMICON China 2009，其展位號為#4722。?

? ?“全球MEMS產業越來越需要用于釋放刻蝕和涂敷的創新性研究和制造設備解決方案，而這個領域在memsstar?出現之前還是一片空白。”Ponit 35 Microstructures的營銷副總裁和共同創始人Tony McKie說：“MEMS產品在中國具有廣闊的發展前景，因此我們來到SEMICON中國并將展示我們最先進的系統。我們期待著與中國的合作伙伴一起，共同建立一個強大的MEMS開發和制造產業。”?

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??? memsstar采用汽相單晶圓工藝來完成大部分MEMS器件所需要的釋放腐蝕和表面修正工藝步驟。它采用獨特的CCFT?工藝控制技術和廣泛的化學品，用戶得到了拓寬的工藝窗口和集成的工藝控制，這遠遠超過了其它現有的系統和方法。各種memsstar?系統以低入門級成本提供了快速的產能、小體積、低消耗和低排放、可擴展平臺、工藝控制和高重復性。系統配置可以匹配到從研發到大批量生產的任何一種情況，實現在各種環境之間的無縫轉接。具體的應用包括運動傳感器、微顯示器、硅麥克風、流體通道、測輻射熱計陣列、壓力傳感器等等。?

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關于Point 35 Microstructures

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??? Point 35 Microstructures由四位經驗豐富的半導體制造專家于2003年成立，以提供一流的全規格翻新半導體制造工藝設備和服務起家，所提供的翻新后系統不僅具有性能保障，而且還通過了最新的CE標準認證。該公司尤其擅長于應用材料公司、Lam研究所和Novellus系統等廠商的設備。?

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??? Point 35 Microstructures于2004年推出了MEMS制造系統memsstar專有品牌。這些MEMS工藝設備和現場工藝集成專業知識確保了客戶可以成功地過渡到集成干法工藝，并且能夠覆蓋從MEMS器件的研發到大批量制造等各階段。?

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??? 2006年，國家微電子研究所授予該公司最具創新性公司稱號。?

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