3月3日晚間，中芯國際通過港交所發布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購買用于生產晶圓的阿斯麥（ASML）產品與ASML上海公司簽訂了經修訂和重述的采購協議，根據購買的ASML產品定價計算，該協議購買ASML產品的總代價約為12億美元（約合人民幣77.6億元）。

　　根據該協議，中芯國際將先行向ASML支持30%的預付款，余款將于產品交付時支付。

　　從采購金額來看，12億美金夠買十多臺先進的DUV光刻機，即便是1.2億美金一臺的EUV光刻機，也能賣個10臺左右。

　　根據公告顯示，ASML批量采購協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。中芯國際根據批量采購協議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間就購買用于生產晶圓的ASML產品與ASML集團簽訂購買單。

　　也就是說，此次的協議是此前采購協議（2018年1月1日至2020年12月31日）的延長，延長至2021年12月31日。換句話來說就是，這是一個覆蓋了2018-2021年三年間的采購協議，并且公告顯示，在2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間，已經在執行購買協議。

　　所以，這個12億美元的采購并不是全新的采購訂單，只是之前簽訂的采購協議的延期和重新修改，之前已經完成了部分的采購。

　　而且，這個采購協議里可能還包含了之前2018年采購的那臺至今未交付的EUV光刻機的訂單的延期。

　　早在2018年5月，中芯國際就向ASML訂購了一臺最新型的EUV光刻機，原計劃在2019年初交付。但是由于美國方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發新的許可證，這也導致了ASML一直無法向中芯國際交付EUV光刻機。

　　不過由于中芯國際訂購的EUV光刻機遲遲無法拿到許可，該訂單也有可能已經取消或替換成了等價的DUV光刻機，畢竟在美國的阻撓下，今年年內可能還是難以實現EUV光刻機的交付。

　　此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關規則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統，ASML則需要為此申請出口許可證。

　　即便中芯國際未來能夠拿到EUV光刻機，由于美國的禁令，限制對于中芯國際供應10nm及以下工藝所需的美系半導體設備，這也使得中芯難以對7nm以下制程實現量產突破，畢竟半導體生產并不只是靠光刻機就行的。未來，中芯國際可能還是要依靠與國產及非美系設備廠商在先進制程上的協作來突破。