MEMS加工的MEMS產業早在發展初期，就呈現波浪式的發展狀態。早期一些半導體公司就把MEMS加入到其能生產的器件范圍，同樣的一些晶圓廠也逐漸成為MEMS器件加工公司。

但是每家MEMS代工公司都有自己特有的優勢，不同的MEMS代工，不同的起跑線。總的來說，都是為了吸引符合各自特點的客戶而采取不同的策略。

MEMS代工工廠大致可分為四個類型：

1.向硅晶圓代工廠提供MEMS代工服務

2.OEM供應商的MEMS代工廠

3. IDM的MEMS代工廠

4.純MEMS代工廠。

從1和2代工類型來看，MEMS代工選擇IDM或者OEM是各有利弊的。IDM的發展已經有二三十年了，但是客戶關心的知識產權安全問題一直沒能得到很好的解決。

所以，對于晶圓代工來說，他們則是把重點放在工藝和客戶上。純MEMS代工公司是可以同時處理多種工藝和多個客戶的，是最具變通的模式。

不同類型MEMS代工，在技術上也是各有差異。

大多情況，MEMS芯片和ASIC芯片分別制造，然后通過系統級封裝或鍵合工藝集成在一起。對于設計者來說，封裝集成的靈活性更大。

而一些MEMS代工提供MEMS-CMOS工藝，可將兩個芯片集成為單芯片，它的好處是：降低功耗、高速和低寄生效應。需要權衡的是制造復雜性的增加和熱預算的減少。

為了適應市場的快速發展，MEMS代工公司還能提供多種堆疊技術，比如3DTSV、2.5D中介層等。

隨著電子市場的火爆，MEMS代工的需求也日益提升，也促使MEMS代工的產品在體積上、成本上都變得越來越小。