上周在國際進口博覽會現場，半導體設備巨頭ASML展出了可用于7納米以上先進制程的深紫外曝光機DUV。

有報道指出，雖然目前極紫外曝光機，俗稱EUV光刻機仍受到美國的技術封鎖而無法出口，但ASML保證DUV就完全沒有問題，尤其是浸潤式DUV，并不需要向美國申請出口許可。而在經過多重曝光后，浸潤式DUV也能達到7納米制程的門檻，甚至更進一步。

這令中芯等業者似乎有了解套，且ASML在會場上更提供了完整的解決方案，擁有先進控制能力的機臺將能通過建模、仿真、分析等技術，讓邊緣定位精度不斷提高，深受市場矚目。ASML全球副總裁暨中國區總裁沈波在受訪時表示，公司對向中國出口光刻機持相當開放的態度，在法律法規的框架下，都會全力支持。

ASML目前已在中國建立了培訓中心，培養相關人才,在深圳和北京也有兩家技術開發中心，專門做技術開發，已提供近700多臺各式產品。此次若真能提供適用于7納米制程以上的DUV可謂是相當大的突破。因為理論上，DUV通常只能用到25納米。

英特爾雖然透過特別的技術使其用在10納米制程，但這幾乎已是極限。DUV的深紫外光波長近193納米，雖然透過液體浸潤多重曝光后，的確能夠縮小線距，但要與EUV的13.5納米波長等效，成本及良率恐怕都會很難看，這也是當初為何臺積電毅然選擇投入設備非常昂貴的EUV技術。