內容簡介：設計了一種微電流檢測系統，可用于電子束設備皮安量級到納安量級的微弱電流信號檢測。該設計采用跨阻式I/V轉換電路結構，綜合考慮器件選型、電路級聯放大、純凈供電電源、濾波降噪、嵌入式計算、屏蔽與接地等，將皮安級微小電流放大，同時還設計了雙量程選擇電路，拓展了測量范圍至百納安級，通過MCU微處理器對放大的電信號進行采集及優化處理。實驗表明該系統能夠實現微弱電流信號的測量，同時可以調整至較大的量程，且測量誤差低于0.5%，同時線性度優、響應迅速。