內容簡介：掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope， SEM）的圖像質量高度依賴于掃描電路輸出信號的精度與穩定性。而現有研究對掃描信號至圖像質量的影響仍缺乏深入分析。基于此，首先建立了從掃描信號到圖像質量的傳遞機制，分析了掃描信號性能指標對圖像影響；然后，通過高精度數字萬用表與示波器對實際掃描信號進行精準測量，并結合端點擬合法進行數據處理，從而量化了場掃描與行掃描信號在512×512像素模式下誤差水平；進一步通過MATLAB仿真各類誤差對標準網格圖像的影響，并導入實測信號數據，評估其在實際成像中的表現。研究表明，掃描信號整體線性性能良好，中心區域平均誤差為1.884像素，優于邊緣區域的2.749像素。