電子專用設(shè)備是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是電子信息" title="電子信息">電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)和工藝技術(shù)的高度融合，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端。電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)性強、關(guān)聯(lián)度高，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中技術(shù)難度最大、附加值和進入門檻最高的領(lǐng)域，決定著一個國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實力的重要標(biāo)志。

　　“十一五”回顧

　　·電子專用設(shè)備國內(nèi)市場環(huán)境不斷優(yōu)化

　　·我國企業(yè)自主創(chuàng)新" title="自主創(chuàng)新">自主創(chuàng)新能力仍然薄弱

　　·國產(chǎn)設(shè)備可靠性仍存在問題

　　政策扶持力度加大

　　“十一五”期間，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)得到快速發(fā)展，銷售收入預(yù)計年均增長率達到22%左右。由于受到國際金融危機的影響，雖然沒有能達到電子專用設(shè)備“十一五”專項規(guī)劃的發(fā)展速度(25%)，但仍然是電子信息產(chǎn)業(yè)中增長較快的行業(yè)之一。根據(jù)國家統(tǒng)計局提供的數(shù)據(jù)，2009年我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)銷售收入1000億元，占當(dāng)年電子信息產(chǎn)業(yè)總銷售收入的2%。

　　“十一五”期間在光伏產(chǎn)業(yè)市場的推動下，我國晶硅太陽能電池設(shè)備年均增長率達到49.8%，成為電子專用設(shè)備各類產(chǎn)品中發(fā)展最快、也是在電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)中占比重最大的一類產(chǎn)品。

　　在電子專用設(shè)備領(lǐng)域，我國的產(chǎn)業(yè)政策得到有效貫徹，市場環(huán)境不斷優(yōu)化。

　　2008年4月23日國務(wù)院審議并原則通過“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02專項)。集成電路關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)從此進入全面實施階段。該專項的實施，不僅將打破我國高端集成電路設(shè)備完全依賴進口的狀況，而且還將帶動我國電子專用設(shè)備技術(shù)的提升和結(jié)構(gòu)的調(diào)整。

　　2006年6月，國務(wù)院常務(wù)會議通過《國務(wù)院關(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》，并將集成電路關(guān)鍵設(shè)備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設(shè)備、電子元器件生產(chǎn)設(shè)備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設(shè)備列入了國家重大技術(shù)裝備中，加大了政策支持和引導(dǎo)力度，鼓勵國產(chǎn)重大技術(shù)裝備訂購和使用，為其創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境。

　　大企業(yè)集團初步形成

　　在“十一五”期間，我國電子專用設(shè)備領(lǐng)域的大企業(yè)集團初步形成。以銷售收入計，行業(yè)10強入圍的門檻從2006年的1.89億元增加到2009 年的3.13億元；行業(yè)十強2010年利稅總額將超過10億元；到2010年底，預(yù)計電子專用設(shè)備銷售收入超過10億元的企業(yè)有兩家。

　　與此同時，企業(yè)的自主研發(fā)進程加快，以企業(yè)為主體的創(chuàng)新體系初步建立。“十一五”以來，行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過吸收國內(nèi)外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關(guān)鍵設(shè)備和開發(fā)中避開已有的國外專利，開發(fā)出一批技術(shù)含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術(shù)創(chuàng)新體系。

　　在太陽能光伏領(lǐng)域，具有自主知識產(chǎn)權(quán)的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線設(shè)備基本實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，并可承擔(dān)“交鑰匙”工程。不僅使該領(lǐng)域?qū)Ｓ迷O(shè)備產(chǎn)業(yè)快速增長，也大大推動了我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　在集成電路芯片生產(chǎn)領(lǐng)域，關(guān)鍵技術(shù)取得突破。在國家863計劃和02專項的支持下，一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備進入了大生產(chǎn)線，并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。其中包括：90/65納米介質(zhì)刻蝕機、100納米高密度等離子體刻蝕機、大角度離子注入機、8英寸立式擴散爐、8英寸勻膠顯影設(shè)備、45納米 12英寸單片清洗設(shè)備和130納米級集成電路光掩模清洗設(shè)備。

　　無鉛焊接設(shè)備產(chǎn)業(yè)化為低碳經(jīng)濟作出了貢獻。在“十一五”期間，經(jīng)過不斷創(chuàng)新，使得我國目前的無鉛焊接設(shè)備達到了國際先進水平，成為我國SMT設(shè)備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。

　　自主創(chuàng)新能力仍待增強

　　從目前的情況看，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)仍存在一些問題。

　　2009年我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)銷售收入僅占我國電子信息產(chǎn)業(yè)總銷售收入的2%，這和我國電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)大國的地位是不相稱的，特別是集成電路設(shè)備、平板顯示器設(shè)備、發(fā)光二極管設(shè)備和表面貼裝設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備大部分仍然需要依賴進口，這也將是我國走向電子強國的一大障礙。

　　我國企業(yè)自主創(chuàng)新的能力薄弱，高端新設(shè)備開發(fā)難度大。目前電子專用設(shè)備的開發(fā)主要依靠消化吸收國外先進的設(shè)備，避開國外的設(shè)備專利，這不僅增加了新設(shè)備開發(fā)的難度，而且也很難超過國外先進設(shè)備的水平。

　　我國成套生產(chǎn)線提供能力尚顯不足。在“十一五”期間，我國晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線設(shè)備除個別設(shè)備需要引進外，大部分設(shè)備已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)化，并且可以承擔(dān)成套生產(chǎn)線的“交鑰匙”工程，使我國太陽能電池設(shè)備在“十一五”期間得到了快速的發(fā)展。不過，集成電路、平板顯示器、發(fā)光二極管等生產(chǎn)線設(shè)備，雖然有些設(shè)備也進入了生產(chǎn)線，但是大部分生產(chǎn)線設(shè)備還需依靠進口，并且國產(chǎn)設(shè)備與進口設(shè)備在生產(chǎn)工藝上的配合，也成為難點。因此，這些設(shè)備的推廣進展較慢。

　　國產(chǎn)設(shè)備有的性價比雖高，但與國外先進設(shè)備相比，普遍存在可靠性較低的問題。在通常情況下，國產(chǎn)設(shè)備大的故障不多，但小的故障不少。提高設(shè)備可靠性是我國電子專用設(shè)備發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。

 　　設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)品的制造工藝脫節(jié)，影響了新產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的進程。當(dāng)前，很多新設(shè)備開發(fā)必須依靠用戶提供生產(chǎn)工藝來配合，而一般用戶不愿意為新開發(fā)的設(shè)備做這種試驗，或者會提出很嚴(yán)格的條件，使設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的進程緩慢。

　　“十二五”思路

　　·“十二五”期間電子專用設(shè)備銷售收入年均增長率將保持20%

　　·擴大內(nèi)需是拉動我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)最有效的措施

　　·企業(yè)應(yīng)加大研發(fā)投入，加快高端人才培養(yǎng)和引進

　　國內(nèi)市占率力爭30%

　　在“十二五”期間，電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)應(yīng)著眼于優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，著力加強自主創(chuàng)新，繼續(xù)擴大國內(nèi)市場占有率，為我國電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支撐，為實現(xiàn)電子強國目標(biāo)奠定堅實的基礎(chǔ)。

　　同時，電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)應(yīng)明確其發(fā)展思路。首先，要走市場化發(fā)展道路，推動大企業(yè)的發(fā)展；其次，要廣泛吸引人才，加強以企業(yè)為主體的自主創(chuàng)新體系建設(shè)；再次，要培育新的競爭優(yōu)勢和新的增長點，不斷調(diào)整優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)；最后，還要推進設(shè)備節(jié)能降耗，促進電子產(chǎn)品的綠色制造。

　　在“十二五”期間，電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)銷售收入將保持年均20%的增長速度，利稅也將保持同步增長。就市場占有率而言，到“十二五”末，電子專用設(shè)備國內(nèi)市場占有率爭取達到30%左右。其中：太陽能電池設(shè)備達到90%；片式元件設(shè)備、凈化設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備達到80%；LED設(shè)備、表面貼裝設(shè)備達到30%；集成電路設(shè)備、LCD設(shè)備爭取達到10%。在技術(shù)創(chuàng)新方面，到“十二五”末，以企業(yè)為主體的科技創(chuàng)新體系應(yīng)基本形成，爭取將電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)與國際先進水平的整體相對差距縮短到5年。其中：晶硅太陽能電池設(shè)備將達到國際先進水平；表面貼裝設(shè)備除自動貼片機外，其他設(shè)備也將達到國際先進水平；集成電路后封裝設(shè)備、LCD后工序設(shè)備、LED設(shè)備(除MOCVD外)、片式元件設(shè)備、凈化設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備將接近國際先進水平。到“十二五”末，培育5家左右電子專用設(shè)備年銷售收入超過10億元并具有國際競爭力的大企業(yè)。

　　65納米設(shè)備應(yīng)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

　　針對不同的應(yīng)用領(lǐng)域，電子專用設(shè)備也應(yīng)有不同的發(fā)展重點。

　　在集成電路領(lǐng)域，設(shè)備的發(fā)展重點應(yīng)包括：8英寸90納米集成電路可以交鑰匙的生產(chǎn)線設(shè)備，12英寸65納米集成電路關(guān)鍵設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化，8英寸半導(dǎo)體級單晶生長、切割、磨片、拋光設(shè)備產(chǎn)業(yè)化，12英寸半導(dǎo)體級單晶生長設(shè)備。

　　在太陽能電池芯片生產(chǎn)領(lǐng)域，設(shè)備的發(fā)展重點應(yīng)包括：8～12英寸太陽能級多晶硅、單晶硅的生長，切割、加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)化，全自動晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備，銅銦鎵硒薄膜太陽能生產(chǎn)設(shè)備。

　　在高亮度LED領(lǐng)域，設(shè)備的發(fā)展重點應(yīng)包括：芯片襯底單晶生長、切割、磨片、拋光設(shè)備，芯片生產(chǎn)線設(shè)備和后封裝設(shè)備。

　　在新型元件領(lǐng)域，設(shè)備的發(fā)展重點應(yīng)包括：高性能稀土永磁元件生產(chǎn)設(shè)備、高儲能鋰離子電池生產(chǎn)設(shè)備、金屬化超薄膜電力電容器生產(chǎn)設(shè)備、超小型片式元件生產(chǎn)設(shè)備和高密度印制電路板生產(chǎn)設(shè)備。

　　在表面貼裝設(shè)備領(lǐng)域，則應(yīng)重點發(fā)展高精密鋼網(wǎng)自動印刷機，高速、多功能自動貼片機，無鉛再流焊機以及高精度光學(xué)檢測設(shè)備。

　　在“十二五”期間，我國電子專用設(shè)備的市場主要在國內(nèi)，因此擴大內(nèi)需是拉動我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)最有效的措施。如：加快太陽能電站建設(shè)的進程，改變中國光伏業(yè)主要依賴國外市場的被動局面，這將推動中國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

　　企業(yè)應(yīng)加大研發(fā)投入，加快高端人才培養(yǎng)和引進，進一步完善以企業(yè)為主體的創(chuàng)新體系，大力提高自主創(chuàng)新能力。同時，要關(guān)注市場變化，加快調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。

　　設(shè)備制造企業(yè)要加快產(chǎn)品生產(chǎn)試驗線和實驗室的建設(shè)，實現(xiàn)設(shè)備制造企業(yè)在提供設(shè)備的同時可以提供產(chǎn)品的先進制造工藝。