當前,全球半導體競爭日益激烈,作為芯片薄膜沉積工藝的核心耗材,高純度靶材的制造水平直接關系芯片良率,其技術攻堅與產能提升面臨嚴峻挑戰。近日,江豐電子在年報中指出,黃湖靶材工廠的建設穩步推進,成為其高標準產能布局的重要一環。該項目的特別之處在于,其成功落地了半導體行業首例屋頂裝配式高效制冷機房,為破解高端制造基建難題提供了創新范本。

溫控、能耗、負載:高純靶材制造的“制冷難題”
高純度靶材的生產對供能系統的穩定性、能效水平和空間布局都有嚴苛要求。一是環境穩定性不容有失。靶材生產對溫濕度、潔凈度極為敏感,制冷系統需持續提供穩定可控的環境,任何波動都可能影響產品良率;二是能耗壓力持續加大。高純金屬加工作為能源密集型工藝,為其服務的制冷系統需具備更好能效以控制運維成本;三是空間與荷載限制嚴格。靶材廠房的設備區地面荷載遠超普通廠房承重標準,導致傳統地下機房模式一般難以實施。
在“三角難題”的重重制約下,半導體靶材制造的擴產升級之路迫切需要一種既能突破物理限制、又能兼顧能效與穩定性的創新供能方案。
首創屋頂裝配式機房,高效供能方案的迅速落地
經過深度研判廠區選址條件、建筑結構特性、能效管控指標及空氣品質標準,美的樓宇科技為黃湖靶材工廠量身定制了屋頂裝配式高效制冷機房。
據了解,該方案基于BIM和iBUILDING 可視化仿真平臺等技術,通過全流程三維建模、工廠預制、現場快速裝配,實現 6300RT 冷量供應,高效利用屋頂空余空間,節約屋頂面積超40%,顯著提升空間利用率。
在技術選型方面,美的樓宇科技采用變頻直驅離心式冷水機組、磁懸浮離心式冷水機組作為核心,COP和IPLV滿足新國標雙一級能效,依托數字化運維平臺與AI優化計算,實現設備集中管理與智能調控,
僅用75天便完成整體交付;同時,黃湖工廠制冷系統全年綜合能效比高達5.1以上,實現了能耗成本的大幅優化與產能的快速釋放。
該項目的成功落地,不僅破解了特定企業的供能瓶頸,更以可復制的系統解決方案,為半導體乃至高端制造業的綠色、高效基礎設施建設打造出了全新的行業范本。

