近日，上海威耀實業有限公司（簡稱“威耀實業”）發生股東重大變更。國產光刻機廠商上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱“上海微電子”）原本是威耀實業是100%控股股東，但現在已經全面退出，上海芯上微裝科技股份有限公司（簡稱“芯上微裝”）則成了威耀實業的100%控股股東，認繳出資額同樣為2.285億元。

公開資料顯示，威耀實業成立于2003年，是一家從事有色金屬冶煉和壓延加工業為主的企業，此前其為上海電氣控股集團成員。2016年1月，上海微電子成為其100%控股股東。

官網顯示，芯上微裝成立于2025年02月08日，是一家專注于高端半導體裝備研發、生產和服務的創新型科技企業。公司致力于為“超越摩爾”賽道的芯片制造、芯片先進封裝、三代半導體和新型顯示等核心領域提供高精度、高性能、高可靠性的設備解決方案。

公司技術團隊約600人，平均年齡33歲，65%為碩士博士學歷；擁有上海市勞動模范、上海市優秀技術帶頭人、上海市青年科技啟明星計劃、上海市產業菁英領軍人才，以及浦東明珠計劃人才/工程師等高層次人才十數人。

值得注意的是，2025年8月8日，芯上微裝舉辦了第500臺步進光刻機交付儀式。此次發運的“第500臺步進光刻機”將交付給盛合晶微半導體（江陰）有限公司。盛合晶微是全球領先的集成電路晶圓級先進封測企業。

2025年11月25日，芯上微裝又宣布，公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200 ）正式完成出廠調試與驗收，啟程發往客戶現場。芯上微裝表示，這標志著我國在高端半導體光刻設備領域再次實現關鍵突破！這不僅是一次產品的交付，更是國產半導體裝備向高端化、自主化邁進的重要里程碑。

那么為什么一家剛剛在2025年2月成立新公司，在幾個月之后就完成了第500臺步進光刻機的交付呢？業內信息顯示，芯上微裝似乎是國產光刻廠商上海微電子裝備（集團）股份有限公司分拆出來的獨立公司，擬募資獨立IPO。

根據企查查資料顯示，芯上微裝注冊資本金1.75億元，擁有股東29位，其中上海張江浩成創業投資有限公司（簡稱“張江浩成”）持股14.197%，是單一第三大股東。張江浩成是張江高科的全資子公司。