9月17日，華卓精科于科創板成功過會，向“國產光刻膠第一股”再進一步。

　　華卓精科主營業務為超精密測控設備，產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學、醫療等行業。

　　“清華力量”加持，共享專利

　　華卓精科具有清華“背景”，公司控股股東朱煜是清華大學長聘教授，許多核心技術人員也是、來自清華。

　　目前，朱煜、張鳴已取得清華大學兼職批復，作為兼職人員在華卓精科處工作。

　　研發專利，截至 2021 年 6 月 30 日，公司擁有 198 項專利以及 1 項專利獨占使用權。

　　其中，公司與清華大學共同所有162項專利技術以及1項獨占實施許可專利，35項為華卓精科單獨申請。

　　對于共同擁有的162項專利，公司與清華大學通過協議約定了公司具有該部分專利技術的獨占實施權，清華大學具有收益分配的權利。

　　獲超10輪融資

　　據不完全統計，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資，經歷了種子輪、股權融資、A輪、七次定增、戰略融資、B輪等融資過程。背后的投資陣容囊括了水木創投、中金公司、大華大陸投資、渾璞投資、紅星美凱龍、國家集成電路產業投資基金（下稱“國家大基金”）等一線機構。

　　華卓精科曾登陸過新三板，在公司掛牌新三板期間，共實施了5次定向增發，合計定增募資總額約為1.42億元。

　　破冰雙工件臺技術！

　　光刻機有三大核心部件，EUV光源、雙工件臺、光學鏡頭。其中技術壁壘最高、制成難度最大的是雙工件臺，成本占到整個光刻機成本的10%-20%。

　　此前，光刻機的雙工件臺技術被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團隊成功打破了雙工件臺技術壁壘，成為了全球第二，全國第一家掌握掌握EUV光刻機雙工件臺技術的廠商，實現了技術、雙工件臺零部件的完全自主化生產。

　　募資超7億，加碼研發

　　華卓精科成立于2012年，雖被譽為國產光刻機第一股，但公司不生產光刻機整機，而是聚焦EUV光刻機雙工件臺技術。

　　公司主要產品包括精密運動系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及上述部分主要產品的技術開發服務。

　　華卓精科本次擬發行股票不超過3200萬股，募集資金約7.35億元，將用于半導體裝備關鍵零部件研發制造項目、超精密測控產品長三角創新與研發中心建設、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發項目等。