近日,據韓國媒體The Elec報導,韓廠東進世美肯(Dongjin Semichem)和ENF Technology 表示,4月起光阻稀釋劑價格最多會調升50%。據悉三星和SK 海力士正在緊急推演光阻稀釋劑此番漲價其半導體生產所帶來的影響。
光阻稀釋劑的原料是環氧丙烷(propylene oxide,PO),PO 會煉制成丙二醇甲醚(propylene glycol methyl ether,PGME)和丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol methyl ether acetate,PGMEA),而電子級的PGME和PGMEA常以一定配比互溶,在例如半導體、陽極感光材料、液晶顯示屏和光刻膠等的生產中可以作為光阻稀釋劑、光阻去除劑、去光阻緩沖液、剝離劑和清洗劑使用。
研究數據顯示,半導體和顯示面板產業所需的PO只占全球市場5%。據了解近來各行各業對PO 需求極為強勁,但是供給未能跟上,讓2020 年PO 價格飆漲90%,同時期PGME 和PGMEA 的價格也飆漲80%。
雪上加霜的是,今年2月中旬德州暴風雪讓陶氏化學(Dow Chemical)PO 廠被迫停產,價格進一步暴漲。和2020 年下半相比,近來PGME 和PGMEA 的價格已上漲兩倍。
受制造光阻稀釋劑所需的PO原料緊缺及價格大漲影響,光阻稀釋劑價格大幅上調也是必然。
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