互聯網時代的繁榮，從技術層面看，靠的是一塊塊刻著細密電路的半導體芯片，而將蘊藏著智能的集成電路刻上硅片的，則是光刻機。芯片越做越小，用來雕刻芯片的光刻機則越來越復雜，成為集光機電等多學科尖端技術于一體的“智能制造業中的珠穆朗瑪峰”。
面對發達國家的技術封鎖，中國能靠自己力量登上這座“珠穆朗瑪峰”嗎？
2002年，光刻機被列入國家863重大科技攻關計劃，由科技部和上海市共同推動成立上海微電子裝備有限公司來承擔，2008年國家又啟動了“02”科技重大專項予以銜接持續攻關。經過十幾年潛心研發，我國已基本掌握了高端光刻機的集成技術，并部分掌握了核心部件的制造技術。
更值得一提的是，雖然用于集成電路前道制造的光刻機工作母機的研發之路還未達終點，但一路伴隨研發誕生的相關技術，已開始產生輻射效應：先進封裝光刻機已占領了90%的國內市場，預計未來兩年國際市場占有率可達50%；OLED光刻機已形成了成熟產品，也已進入海外市場銷售。
創新資源整合，站上全球產業制高點
浦東張江，上海微電子創始人賀榮明就在這里，與最初的幾位創業者開始了光刻機的研發之路。“當時國內懂行的人寥寥無幾，國際上又封鎖技術。而當時所有投入，在國外只夠造一個超凈車間。”賀榮明說，盡管如此，技術上有再多困難，他也有信心克服，當時要讓人理解光刻機的意義、技術風險，才是最難的。想象一下，一束激光經過上百塊玻璃的聚焦，在硅片上刻下一道道相距僅幾十納米寬的電路——這難度相當于坐在一架超音速飛行的飛機上，拿著線頭穿進另一架飛行中的飛機上的針孔。
但再難也要做，因為造不出自己的光刻機，集成電路產業的命脈就不能掌握在自己手中。目前，世界上僅有美、德、日等少數幾個國家有制造能力。
英國一位經濟學家指出，長期而富有耐心的政府資助是突破性創新的絕對先決條件。作為國家“十五”、“十一五”、“十二五”發展規劃中的重點制造裝備，光刻機得到了穩定的資助。“讓這個項目落地上海，是上海市政府富有戰略眼光的決策，是真正具有創新精神的決策。”賀榮明說，從建造大樓、研發經費配套，到政策扶持，上海市政府為光刻機的成長，提供了穩定而長期的支持。
作為制造業皇冠上的明珠，光刻機的制造集光機電等高技術于一體，任何一個零部件的生產要求，都可能為一個配套產業帶來創新能級提升的機會。賀榮明說，整個研發過程相當艱苦，除了出差，每天早上7點出門，晚上10點回家，就是他這十幾年生活的全部。
然而，忍受這種“煎熬”是值得的。從2012年開始，培育起了供應鏈的上海微電子，開始“沿途下蛋”，利用已經掌握的光刻機技術，開發出了一系列光刻機產品，不到兩三年就走向了國際市場。據悉，先進封裝光刻機500系列一進入市場，就迫使國外同行產品降價近1/3。
將創新基因注入人才團隊
創新，靠的是人才。上海微電子極為注重自己培養研發隊伍。
十幾年前，國內真正懂光刻機的人才很少，由于高端光刻機人才的稀缺性及受到國際技術限制等綜合因素，從海外引進，一是可能性很小，二是回來可能“水土不服”。幾經嘗試和綜合考慮，上海微電子決定采用以自主培養為主、引進吸收為輔的人才培養策略，實踐證明，這是符合我們國情的有效方法。
公司人事總監賀躍進說，由于光刻機需要多學科、大團隊協作，要求既尊重人才，又不過分依賴個人。為此，他們已經形成了一整套人才快速培養的機制。
隨著研發團隊日益龐大，如何向團隊內注入創新基因，使其不斷產生強大的創新變異能力？三年前，上海微電子推出鼓勵員工創新的“黃昏工程”，每年組織評選出10個年度創新研究課題，每個資助10萬元，創新研究過程中如果失敗可免責，成功有獎，不斷營造企業創新氛圍。如今，黃昏工程已產生多項發明專利。未來他們還將推出企業內部“創新幣”，搭建創新交易平臺，讓創新變得更活躍。
