《電子技術(shù)應(yīng)用》
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中国本土半导体设备进入大生产线有希望

2009-09-22
作者:来源:中国电子报
關(guān)鍵詞: 中微 90% 热化学 生产线上 22nm

??? 設(shè)備市場(chǎng)是跟著芯片市場(chǎng)發(fā)展的,是一個(gè)浮動(dòng)很大的市場(chǎng)。但其發(fā)展速度一直在一般工業(yè)之上,保持高速發(fā)展。

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  有人認(rèn)為,設(shè)備領(lǐng)域1%的公司占有90%以上的市場(chǎng),表現(xiàn)出大者恒大的現(xiàn)象。我認(rèn)為“1%的公司占有90%以上的市場(chǎng)”這個(gè)結(jié)論并不一定很準(zhǔn)確,實(shí)際上在二三十年前有三四十個(gè)公司做等離子體和薄膜設(shè)備,經(jīng)過(guò)二三十年的優(yōu)勝劣汰,現(xiàn)在剩下的只有大概三四個(gè)比較主要的公司,當(dāng)然還有一些小公司也在做部分產(chǎn)品。我覺(jué)得很難下這個(gè)結(jié)論,就是大公司一定處于壟斷地位,而小公司一定沒(méi)有希望,關(guān)鍵問(wèn)題還是在公司的領(lǐng)導(dǎo)、公司的產(chǎn)品策略和產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。現(xiàn)在韓國(guó)和我國(guó)臺(tái)灣都有這種小公司開(kāi)始成長(zhǎng)起來(lái),這些公司的產(chǎn)品一定要有競(jìng)爭(zhēng)力。如果半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)被少數(shù)公司壟斷,對(duì)客戶并不是一件有利的事情。

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  中國(guó)芯片制造業(yè)在最近幾年有了長(zhǎng)足的進(jìn)步,而設(shè)備業(yè)也取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。過(guò)去的歷史是,幾乎全部主要設(shè)備從國(guó)外進(jìn)口。而目前,情況大有改觀,我希望中微的產(chǎn)品上市以及其他幾個(gè)以國(guó)內(nèi)為基地的半導(dǎo)體設(shè)備廠商的產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)后,能改變上述情況,即一部分產(chǎn)品能夠在中國(guó)本地生產(chǎn)。

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  中微半導(dǎo)體是一個(gè)以中國(guó)和亞洲為基地的新興半導(dǎo)體設(shè)備公司,擁有一流的技術(shù)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)和不斷增長(zhǎng)的創(chuàng)新能力,有一流的風(fēng)險(xiǎn)投資公司和金融機(jī)構(gòu)的強(qiáng)力支持,在中國(guó)大陸和中國(guó)臺(tái)灣以及日本、韓國(guó)、新加坡?lián)碛袊?guó)際化的團(tuán)隊(duì)。2004年8月中微公司在上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)啟動(dòng);2007年6月推出第一臺(tái)等離子刻蝕機(jī)和第一臺(tái)薄膜機(jī)的生產(chǎn)機(jī)型,并在12英寸半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線上試運(yùn)行;2010年開(kāi)始批量生產(chǎn)。

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  我們做兩種設(shè)備,一是絕緣體刻蝕,一是高壓熱化學(xué)薄膜沉積,這兩個(gè)產(chǎn)品的市場(chǎng)有35億美元,而且每年以8%-10%的速度增長(zhǎng)。我們研發(fā)的產(chǎn)品經(jīng)過(guò)3年的反復(fù)論證,現(xiàn)在的兩個(gè)設(shè)備,等離子刻蝕設(shè)備和高壓熱化學(xué)薄膜沉積設(shè)備,主要是為了65nm到45nm設(shè)計(jì),而且可以擴(kuò)展到32nm,是12英寸即300mm的設(shè)備。

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  中微現(xiàn)在面臨的第一個(gè)挑戰(zhàn)就是把產(chǎn)品引入市場(chǎng),并在客戶的生產(chǎn)線上進(jìn)行試運(yùn)行。為了做到這點(diǎn),我們要真正了解客戶的要求,給他們提供最好的支持服務(wù),使產(chǎn)品打入市場(chǎng)比較順利。第二個(gè)挑戰(zhàn)是,我們要不斷地在技術(shù)上創(chuàng)新,因?yàn)榘雽?dǎo)體的器件要走入32nm,最后要走到22nm這個(gè)數(shù)量級(jí),所以我們應(yīng)該和顧客緊密合作,開(kāi)發(fā)出下一代更新的技術(shù)和更好的產(chǎn)品。

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